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sem元素mapping怎么做

發(fā)布時間：2023-04-13 20:41:38 稿源：創(chuàng)意嶺閱讀： 90

大家好！今天讓創(chuàng)意嶺的小編來大家介紹下關(guān)于sem元素mapping怎么做的問題，以下是小編對此問題的歸納整理，讓我們一起來看看吧。

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本文目錄:

1、求大神幫解說一下什么是SEM XRD EDS 分析方法和原理本人零基礎(chǔ) 大體了解一下
2、sem形貌標(biāo)尺要求
3、SEI是指什么測試手段，elemental mapping是用什么儀器測得？
4、2020-02-08-2小劉科研筆記之FIB-SEM雙束系統(tǒng)在材料研究中的應(yīng)用

sem元素mapping怎么做

一、求大神幫解說一下什么是SEM XRD EDS 分析方法和原理本人零基礎(chǔ) 大體了解一下

SEM是掃描電子顯微鏡，最高可放大至20萬倍左右，用二次電子成像的原理來觀察某種物質(zhì)的微觀形貌。EDS是能譜儀，是每種元素對應(yīng)的電子能不同，來鑒別元素，通常是和SEM結(jié)合使用，也就是說在SEM上安裝EDS附件，在觀看形貌時，選擇一定區(qū)域用EDS打能譜，也就知道了該區(qū)域的元素組成。XRD是X射線衍射儀，其原理是高壓下，陰極發(fā)出的電子形成高能電子束，轟擊陽極靶材（通常是Cu），靶材的內(nèi)部電子能量升高，被激發(fā)出來，當(dāng)它回到基態(tài)的過程中，多余的能量以X射線、俄歇電子等形式釋放出來。XRD收集的是其中的X射線，X射線掃到樣品上，會根據(jù)布拉格方程產(chǎn)生衍射角，衍射峰。每種物質(zhì)(不同樣品)的衍射峰不同，因此通常用來鑒別物相，也會根據(jù)峰面積算半定量。

二、sem形貌標(biāo)尺要求

在做掃描電鏡（SEM）測試時，大部分同學(xué)已經(jīng)了解了SEM測試樣品的相關(guān)要求，但是仍然有一部分同學(xué)不太清楚，今天鑠思百檢測小編整理了關(guān)于“SEM測試樣品要求”希望能幫到大家！

SEM測試樣品要求如下：

1.粉末、液體、薄膜、塊體均可。粉末10mg，塊體樣品直徑≤1cm，厚度＜1cm，；薄膜尺寸小于1*1*0.5cm；

2.混凝土，珊瑚沙，氣凝膠，水凝膠等需要抽真空時間非常長的樣品尺寸請盡可能直徑≤5mm，厚度≤5mm

3. 需要脆斷的樣品，尺寸需要≥2*2cm，厚度＜0.5cm，較厚的樣品建議尺寸準(zhǔn)備大些；

要求樣品無毒、無放射性、干燥無污染、熱穩(wěn)定性好、耐電子束轟擊。

SEM測試制樣流程：

1、塊體：直接用導(dǎo)電膠粘在樣品臺上測試，若需拍塊體/薄膜截面，需明確截面制備方法，一般可以提供剪刀裁剪和液氮脆斷兩種方式；

2、液體：用移液槍取樣品超聲后的懸濁液，滴一滴于硅片或錫紙上，自然風(fēng)干/紅外燈烘干，烘干后將硅片或錫紙用導(dǎo)電膠粘在樣品臺上測試；

3、粉末：（1）直接用導(dǎo)電膠粘在樣品臺上測試；（2）乙醇分散制樣：取少量樣品于離心管中，加入一定量無水乙醇（或水），室溫超聲 5-10min，隨后采用 2 中液體的制樣方式制樣測試。

SEM測試樣品要求注意事項：

1、樣品含水，濕潤是不能做SEM的；

2、易分解樣品需明確分解條件（如溫度等），若樣品極易分解可能不能安排測試，因為分解后產(chǎn)生物質(zhì)可能對測試儀器造成影響；

3、水凝膠等易吸潮樣品寄樣前請先確認樣品暴露 4-5h 內(nèi)是否會出現(xiàn)明顯的吸潮現(xiàn)象，測試過程中樣品吸潮會影響拍攝的同時也會對儀器造成損傷；

4、導(dǎo)電性不好（如半導(dǎo)體金屬氧化物、生物樣品及塑料、陶瓷等）或強磁樣品建議選擇噴金，不噴金可能會影響拍攝效果。

鑠思百檢測可做的SEM測試項目有：

表面形貌觀察、EDS能譜點掃、EDS能譜線掃、EDS能譜面掃（mapping）；可鍍金，非磁、弱磁、強磁樣品，生物樣品均可拍攝。

網(wǎng)址：

科研設(shè)備

三、SEI是指什么測試手段，elemental mapping是用什么儀器測得？

elemental mapping 是通過energy dispersive spectroscopy (EDS)-能譜儀測出

四、2020-02-08-2小劉科研筆記之FIB-SEM雙束系統(tǒng)在材料研究中的應(yīng)用

聚焦離子束掃描電鏡雙束系統(tǒng)（FIB-SEM）是在SEM的基礎(chǔ)上增加了聚焦離子束鏡筒的雙束系統(tǒng)，同時具備微納加工和成像的功能，廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究和半導(dǎo)體芯片研發(fā)等多個領(lǐng)域。本文記錄一下FIB-SEM在材料研究中的應(yīng)用。

以目前實驗室配有的FIB-SEM的型號是蔡司的Crossbeam 540為例進行如下分析，離子束最高成像分辨率為3nm，電子束最高分辨率為0.9nm。該系統(tǒng)的主要部件及功能如下：

1.離子束：濺射（切割、拋光、刻蝕）；刻蝕最小線寬10nm，切片最薄3nm。

2.電子束：成像和實時觀察

3.GIS(氣體注入系統(tǒng))：沉積和輔助刻蝕；五種氣體：Pt、W、SiO2、Au、XeF2(增強刻蝕SiO2)

4.納米機械手：轉(zhuǎn)移樣品

5.EDS：成分定量和分布

6.EBSD ：微區(qū)晶向及晶粒分布

7.Loadlock（樣品預(yù)抽室）：快速進樣，進樣時間只需~1min

由上述FIB-SEM的一個部件或多個部件聯(lián)合使用，可以實現(xiàn)在材料研究中的多種應(yīng)用，具體應(yīng)用實例如下：

圖2a和b分別是梳子形狀的CdS微米線的光學(xué)顯微鏡和掃描電鏡照片，從光學(xué)顯微鏡照片可以看出在CdS微米線節(jié)點處內(nèi)部含有其他物質(zhì)，但無法確定是什么材料和內(nèi)部形貌。利用FIB-SEM在節(jié)點處定點切割截面，然后對截面成像和做EDS mapping，如圖2c、d、e和f所示，可以很直觀的得到在CdS微米線的節(jié)點處內(nèi)部含有Sn球。

FIB-SEM制備TEM樣品的常規(guī)步驟如圖3所示，主要有以下幾步：

1）在樣品感興趣位置沉積pt保護層

2）在感興趣區(qū)域的兩側(cè)挖大坑，得到只有約1微米厚的薄片

3）對薄片進行U-cut，將薄片底部和一側(cè)完全切斷

4）緩慢移下納米機械手，輕輕接觸薄片懸空的一端后，沉積pt將薄片和納米機械手焊接牢固，然后切斷薄片另一側(cè)，緩慢升起納米機械手即可提出薄片

5）移動樣品臺和納米機械手，使薄片與銅網(wǎng)（放置TEM樣品用）輕輕接觸，然后沉積pt將薄片和銅網(wǎng)焊接牢固，將薄片和納米機械手連接的一端切斷，移開納米機械手，轉(zhuǎn)移完成

6）最后一步為減薄和清洗，先用大加速電壓離子束將薄片減薄至150nm左右，再利用低電壓離子束將其減薄至最終厚度（普通TEM樣品<100nm，高分辨TEM樣品50nm左右，球差TEM樣品<50nm）

一種如圖4a所示的MoS2場效應(yīng)管，需要確定實際器件中MoS2的層數(shù)及柵極（Ag納米線）和MoS2之間的距離。利用FIB-SEM可以準(zhǔn)確的在MoS2場效應(yīng)管的溝道位置，垂直于Ag納米線方向，提出一個薄片，并對其進行減薄，制備成截面透射樣。在TEM下即可得到MoS2的層數(shù)為14層（圖4c）， Ag納米線和MoS2之間的距離為30nm（圖4b）。

圖5是一種錳酸鋰材料的STEM像，該樣品是由FIB-SEM制備，圖中可以看到清晰的原子像。這表明FIB-SEM制備的該球差透射樣非常薄并且有很少的損傷層。

FIB-SEM還可以進行微納圖形的加工。

圖6a 是FIB-SEM在Au/SiO2上制備的光柵，光柵周期為150nm，光柵開口為75nm。

圖6b 是利用FIB-SEM在Mo/石英上做的切侖科夫輻射源針尖，針尖曲率半徑為17nm。

圖6c 是在Au膜上加工的三維對稱結(jié)構(gòu)蜘蛛網(wǎng)。

圖6d 是FIB-SEM在硅上刻蝕的賀新年圖案，圖中最小細節(jié)尺寸僅有25nm。

FIB-SEM可以對材料進行切片式的形貌和成分三維重構(gòu)，揭示材料的內(nèi)部三維結(jié)構(gòu)。大概過程如圖7a所示， FIB切掉一定厚度的樣品，SEM拍一張照片，重復(fù)此過程，連續(xù)拍上百張照片，然后將上百張切片照片重構(gòu)出三維形貌。圖7b是一種多孔材料內(nèi)部3×5×2um范圍的三維重構(gòu)結(jié)果，其實驗數(shù)據(jù)是利用FIB-SEM采集，三維重構(gòu)是利用Avizo軟件得到，其分辯率可達納米級，展示了內(nèi)部孔隙的三維空間分布，并可以計算出孔隙的半徑大小、體積及曲率等參數(shù)。

利用FIB-SEM配有的納米機械手及配合使用離子束沉積Pt，可以實現(xiàn)微米材料的轉(zhuǎn)移，即把某種材料從一個位置（襯底）轉(zhuǎn)移到特定位置（襯底），并固定牢固。圖8是把四針氧化鋅微米線從硅片轉(zhuǎn)移到兩電極的溝道之間，從而制備成兩個微米線間距只有1um的特殊器件。

最后，F(xiàn)IB-SEM還有很多其他的應(yīng)用，例如三維原子探針樣品制備，芯片線路修改等?？傊瓼IB-SEM是材料研究中一個非常重要的手段。

不積珪步，無以至千里；不積細流，無以成江海。做好每一份工作，都需要堅持不懈的學(xué)習(xí)。

以上就是關(guān)于sem元素mapping怎么做相關(guān)問題的回答。希望能幫到你，如有更多相關(guān)問題，您也可以聯(lián)系我們的客服進行咨詢，客服也會為您講解更多精彩的知識和內(nèi)容。